高純氣體管道系統的布置不同于普通氣體管道。一般來說，要求管道不要太長，不要有死角，如不容易吹干凈的“盲管"。主管或支管的末端應提供必要的排放口和取樣口。在一些非連續使用的用戶中，讓少量氣體在管道末端連續排出，從而管道中的氣體將正常流動，避免出現“死區"。根據工藝氣體的質量要求，必要時應設置終端凈化裝置。一般來說，控制閥、過濾器、減壓裝置、壓力表、流量計、在線分析儀器等。

天津實驗室高純氣路布局

　　高純氣體管道系統的布置不同于普通氣體管道。一般來說，要求管道不要太長，不要有死角，如不容易吹干凈的“盲管"。主管或支管的末端應提供必要的排放口和取樣口。在一些非連續使用的用戶中，讓少量氣體在管道末端連續排出，從而管道中的氣體將正常流動，避免出現“死區"。根據工藝氣體的質量要求，必要時應設置終端凈化裝置。一般來說，控制閥、過濾器、減壓裝置、壓力表、流量計、在線分析儀器等。進入潔凈車間的高純度氣體管道集中在氣體人口室，便于統一管理和控制。

　　高純氣路管道及管道附屬材料:高純氣體管道輸送管道應根據工藝對氣體純度、允許雜質含量、顆粒含量等的不同要求，采用相應質量的管道。例如，半導體工業不僅需要清潔的生產環境，而且由于其復雜的生產過程和精細加工，對生產過程中所需的各種高純度氣體也有具體和嚴格的要求。從微米技術到亞微米和深亞微米(小于0.35um)技術，對氣體中雜質含量和水分含量的要求非常嚴格，10-6 (ppm級)不能滿足要求。需要達到10-9 (ppb級)甚至10-12(ppt級)，粉塵粒徑需要控制在0.05-0.01 μm。因此，輸送管道的管道材料特性必須滿足高純度和超高純度氣體的要求。

　　管道材料的特性對于輸送高純氣體的管道，影響氣體質量的管道材料的主要特性是透氣性、出氣率、吸附性、表面粗糙度、耐磨性和耐腐蝕性。

　　供氣系統管道安裝要求

　　、管道敷設應符合設計要求，設計沒有要求時，干氣管道應水平安裝;輸送濕氣的管道應安裝坡度不小于0.003，坡度應朝向冷凝水收集器。

　　管道采用焊接連接，鎢極氬弧焊打底，手工電弧焊覆蓋。不銹鋼管焊接或點焊應采取充氬保護措施

　　氣體管道和設備、閥門和其他附件應通過法蘭或螺紋連接。螺紋接頭的填料必須是聚四氟乙烯薄膜

　　、氣體管道穿過潔凈室時，法蘭墊片或螺紋填料的外露部分，必須清理干凈

　　氣體管道采用噴砂除銹或酸洗鈍化無縫鋼管時，必須采用集中安裝方式，安裝應在48小時內分段組合，氮氣保護，填充壓力不小于0.2兆帕

　　對于有接地要求的燃氣管道，法蘭之間必須焊接導電跳線。導體截面和焊接搭接長度應符合設計要求。焊點必須牢固可靠。

天津實驗室高純氣路布局